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主要性能指標(biāo)

4200A-SCS-PK2參數(shù)分析儀半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)I-V 源測(cè)量單元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
• 100 fA測(cè)量分辨率
• 選配前端放大器提供了 10 aA測(cè)量分辨率
• 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測(cè)量
• 四象限操作
• 2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元(CVU)

• AC 阻抗測(cè)量 (C-V, C-f, C-t)
• 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
• ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)
• 選配 CVIV 多通道開(kāi)關(guān)，在 I-V 測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)
• 兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測(cè)量通道
• 200 MSa/s，5 ns 采樣率
• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
• 瞬態(tài)波形捕獲模式
• 任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率

高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

• 兩個(gè)高速脈沖電壓源通道
• ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
• 任意波形發(fā)生器 Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開(kāi)關(guān)模塊 (CVIV)
• 在 I-V測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換，無(wú)需重新布線或抬起探針
• 把 C-V測(cè)量移動(dòng)到任意端子，無(wú)需重新布線或抬起探針遠(yuǎn)程前端放大器/ 開(kāi)關(guān)模塊(RPM)
• 在 I-V 測(cè)量、C-V 測(cè)量和超快速脈沖 I-V 測(cè)量之間自動(dòng)切換
• 把 4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安
• 降低電纜電容效應(yīng)

為材料、半導(dǎo)體器件和工藝開(kāi)發(fā)提供最YOU秀的參數(shù)分析儀

使用強(qiáng)大的Clarius 軟件，可以更加快速的完成I-V, C-V 和脈沖I-V 測(cè)試，結(jié)果清晰明了

4200A-SCS-PK2參數(shù)分析儀半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)